PECVD：等离子体增强化学气相沉积，指借助微波或者射频波使腔室内的反应气体分子电离，形成的高化学活性等离子体在基片表面发生化学反应，沉积成膜。 PECVD根据等离子发射源的动作情况可分为动态和静态。 根据设备结构可分为链式、团簇式和U型。根据射频频率的不同可分为RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD（30-300MHz） HJT设备：导质结电池设备 PVD：物理气相沉积（(Physical Vapour Deposition)，表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体

关于检漏，关乎民用和工业用，小到自来水龙头漏水大到我们的宇航舱漏气，有些地方感觉微乎其微，有些地方且性命攸关。随着真空环境的应用不断扩大，越来越多的用户关于检漏的问题，如何检，用什么检？首先我们要知道漏怎么来数据化，漏率的单位就出来了，漏率是指在已知漏泄处两侧压差的情况下，单位时间内流过漏泄处的给定温度的干燥气体量。在分子流状态下，漏率是压差的一次方函数；在粘滞流状态下，漏率是压力二次方差的函数。在已知容腔传热系数的情况下，利用测得的压力数据进行实际泄漏量的计算可消除由于温度变化引起的检测偏差。单们为mbar.l/s、 Pa.m3/s、克/年和盎司/年。 水龙头每秒漏一滴水泄漏率：1

双极旋片真空泵的问与答1、Q：双极旋片真空泵可以应用到哪些行业？  A：深圳市科锐诗汀科技有限公司代理的旋片泵可广泛应用于太阳能、光学、薄膜、冶炼、铸造、热处理、手机、半导体、建材、微电子、平板显示、Low-E玻璃、装饰品等行业，在PVD、CVD、MBE、电厂凝气器、油脂精炼系统、锂电池干燥系统、直接蒸发系统、化工蒸发、蒸馏、浓缩系统、原料药三合一干燥系统、食品脱水系统、冶金工业、钢包脱气、航天模拟实验、包装等行业中体现了明显优势。 2、Q：我要抽到100Pa（1mbar），可以选旋片泵吗？ A：可以。在泵的选型上要注意降低一个数量级：如果要抽到100Pa，则泵必

真空泵的问与答（二）1、Q：真空泵可以应用到哪些行业？  A：真空泵广泛应用于太阳能、光学、薄膜、冶炼、铸造、热处理、手机、半导体、建材、微电子、平板显示、Low-E玻璃、装饰品等行业、尤其在电厂凝气器、油脂精炼系统、锂电池干燥系统、直接蒸发系统、化工蒸发、蒸馏、浓缩系统、原料药三合一干燥系统、食品脱水系统、冶金工业、钢包脱气、航天模拟实验、包装等行业中体现了明显优势。 2、Q：旋片泵有什么特点？   A：旋片式真空泵通常有单级和双极二种，是市场上使用最广泛的真空泵之一。其结构主要有定子，转子，端盖和旋片等组成。转子偏心安装在定子孔内，转子开槽。当转子旋

Htc日扬真空是真空阀的专业制造供应商。我们所制造生产的真空阀主要的形式有: 角阀(Angle Valve)、Y型阀(Y-Inline Valve)、Z型阀(Z-Inline Valve)、全金属阀门(All-Matel Valve)、球阀(Ball Valve)、波纹管封合不锈钢阀门(Formed Bellows Sealed Stainless Valve)。真空阀门(Vacuum Valves)产品主要被使用于各式的真空腔体、真空设备及真空镀膜设备系统中，其主要目的是用来控制或调节气体流量的导入或导出、切断和接通管路的元件。 真空阀应用：真空阀用于高真空或超高真空系统设备，当必