晶振片_新手扫盲
晶振片这次可能对大家来说比较陌生,当然小编开始也不知道是什么东西感觉高深莫测晦涩难懂,后来啊慢慢就了解到了这个东西。
首先我们了解一下其分类?
石英晶片呢,根据其电极型式,分为双锚、单锚、双面满镀,其中双锚的优点为1.将能量聚集于晶片中部、2.较大化晶片稳定性和寿命,缺点为镜片可能被颠倒放置。其单锚优点为1.将能量聚集于晶片中部,2.较大化晶片稳定性和寿命,双锚优点同单锚此处不加赘述。缺点为1.晶片可能被颠倒放置,2.不能与所有的传感器头型兼容(这取决于传感器电触点的位置),双面满镀(双面,无锚型)其优点为当需要将晶片放置于无方向需求底座时镜片不会被颠倒放置。缺点也很明显较短的晶片寿命及晶片可能在寿命的早期出现噪音。
讲完其分类下面我们讲一下原理。
石英晶体法监控膜厚,主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当其上镀了某种膜层,使晶片的厚度增加,则晶片的固有频率会相应的变化。晶体的基频越高,控制的灵敏度也越高,但基频过高时,晶体片会做得很薄,很薄的晶体片易碎,一般选用AT切型频率5~10MHz。采用AT切晶体片,其振动频率对质量的变化非常灵敏,但却不敏感于温度的变化,具有精度高、灵敏度好等独特的优势,非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。
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