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深圳市科锐诗汀科技有限公司

真空技术属于实验物理的基础技术的一个分支,是随着原子物理、电子工业等领域的发展而发展起来的。超高真空的获得和测量由阿尔培特在1950年基本建立以后,真空技术已与表面物理有了密切的联系。

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真空知识 | 真空阀门

发布时间:2020-09-23 点击次数:75

真空阀门是指在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的。


用于高真空或超高真空系统设备,当必须在封闭的真空处理系统中保持真空。真空阀用于控制进入真空腔体的气流,隔离,排气,提供减压或控制传导。闸阀、Inline阀和角阀是用于高真空或超高真空应用的最常见类型的真空阀。额外的阀门类型包括蝶阀,传输阀,球阀,钟摆阀,全金属阀,真空阀,铝合金角阀,特氟龙涂层真空阀和直通阀。

可在半导体生产系统和化学和微粒污染的应用中可靠地运行。它们可用于粗真空,高真空或超高真空环境



具有下列特点:

压力低于大气压,而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ 150℃的范围。

对这类阀门最基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。

按介质压力真空阀门可分成四组:

1)介质压力p=760~1毫米汞柱.

2)p=1×10-3 毫米汞柱。

3)p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱.

4):p≤1×10-8 毫米汞柱。

作为通径小于250毫米的闭路阀门,被广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制,但这主要是对于大通径来说的。可用的还有球 形旋塞阀(球阀)、柱塞阀和蝶阀。作真空阀用的旋塞阀未得到推广,因为旋塞阀需要用油润滑,使油汽可能进入真空系统,而这是不允许的。真空阀门既可用现场手控和遥控,也可用电动、电磁传动(电磁阀)、气动和液动控制。